Motorized Stage

				

				

					
				
		
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CAA-300

				

					Compact Alignment Stage 특징

1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동

2. Compact Size

3. 3D Encoder option 고정밀도 구현

4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공				

			

			

								
					
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