Motorized Stage

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CAA-300

Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
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CAA-200

Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
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HAA-450

Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
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AA-200

Alignment Stage 특징

1. 동일평면상에서 X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. 낮은 높이로 공간절약 설계가능
3. 고정밀 위치결정 가능
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AA-300

Alignment Stage 특징

1. 동일평면상에서 X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. 낮은 높이로 공간절약 설계가능
3. 고정밀 위치결정 가능
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AA-400

Alignment Stage 특징

1. 동일평면상에서 X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. 낮은 높이로 공간절약 설계가능
3. 고정밀 위치결정 가능
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CAA-175

Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
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HAA-350

Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
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LAA4-1000

1. Max load Capacity 2T 이상의 고강성 stage
2. 일체형 Ball Guide Block 적용으로 고정밀도 구현
3. Q sensor(3D encorder), Drive & controller
(3D Encoder option으로 고정밀도 구현 가능)
4. 1000 x 1000mm의 Large size Stage
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UCAA-140-3-S7

Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
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CAA4-175

1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
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CAA4-200

1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
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