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무소음, 전자파 및 자계에 대한 영향이 없슴
저속/고토크, 감속기어 불필요
초정밀 위치 제어 가능
구조가 단순하여 소형, 경량화 구현이 가능
응답속도가 빠르며 정밀제어가 가능
     
 
     
  구동방식  
  압전체와 탄성체로 구성된 고정자(stator)와 이동자(rotor)로 되어 있는 초음파 모터는 압전체에 교류전압 을 인가하면 기계적 진동이 여진된다. 세라믹 압전체 에서 발생한 진동이 고정자(stator)에 전달 되면 고정자 표면의 질점들이 타원궤적을 그리며 운동하고 고정자에 접촉하는 이동자는 이 타원운동에 의한 마찰력으로 회전한다.


① 동시에 여자된 Longitudinal extension mode와 Transverse bending mode은 조그마한 앞 부분의 finger trip으로타원궤적의 두 개의 acoustic 파를 생성한다.

② 이 부분의 ceramic finger trip이 stage ceramic 부분의 띠에 motor 구동 힘이 압력으로 작용하여 linear stage,
rotary stage나 다양한 장치를 움직이게 한다.

③ 구동 전압이 인가되지 않을 때 ceramic finger trip의 압력으로 motor의 holding torque를 유지한다.
다른 어떤 braking 장치와는 달리 motor의 위치 변경이나 hysterisis가 없다